2008年7月28日
日本無機株式会社

半導体産業新聞へ日本無機記事掲載

当社の低発ガスフィルタが、半導体産業新聞に紹介されました。
以下は、本文からの引用となります。

日本無機（株）（東京都中央区日本橋1-1-1、TEL03-5290-5900）は、昨今要求が高まっているケミカル汚染対策への対応から、低発ガスタイプのフィルタ製品のラインアップを拡充した。

低発ガスフィルタ製品群では、プレフィルタ、中性能、HEPAの三種類を製品化している。外調機に使用されるプレフィルタ「ダスクリーンフィルタ」と、内調機向けの低発ガス中性能フィルタ「ビルトロン」は、ともに有機繊維製不織布をろ材に使用しており、発ガス特性は総有機物がウエハー付着量でそれぞれ0.05ng/cm²以下、0.7ng/cm²以下となっている。半導体製造工程で問題となるボロンとリンも、ともに10ng/m³以下に抑えている。

クリーンルームの循環空気処理用には、セパレータ形多風量タイプの低発ガスHEPAフィルタ「ヌーベル」を製品化した。低有機低ボロンガラスペーパーをろ材とし、フィルタからのボロン、有機物の発生を抑えている。56m³/minの多風量タイプも取り揃えている。

また、低発ガスフィルタのほかに、クリーンルーム内部で発生したケミカル成分を除去するケミカルフィルタ製品でも、ラインアップの拡充を図っている。従来は、酸、アルカリ除去にはイオン交換樹脂を、有機物には活性炭をそれぞれ基材としていた。今回開発したのは、有機物除去用の活性炭を基材としながら、酸とアルカリそれぞれの除去機能も付与した製品を新たに製品化した。装置組み込み用に薄さを従来比約二分の一となる25mmを実現している。

ケミカルフィルタに関しては、寿命測定のニーズが高い。そこで同社では、現地で設置するサンプリングユニットを開発し、サンプリング用フィルタを測定し、残寿命を予測する寿命測定サービスを展開している。

これに合わせて、06年8月に結城工場（茨城県）内に開設した分析センターが、本格稼動に入っている。同センターではシリコンウエハーアナライザーやGC-MS、ICP-MSといった先端分析機器を配備している。同社では、新製品開発に活用して製品提案力を高めるとともに、分析サービス事業を今後の新たな柱へと成長させたい考えだ。

（出展）半導体産業新聞　2008年7月23日（水）第1800号10面掲載