利用場所から探す ： フィルタ製品（エアフィルタ等）、クリーンルーム機器
半導体製造工場、液晶製造工場、食品工場、病院等のご利用頂く場所別に、フィルタ製品（エアフィルタ等）、クリーンルーム機器等の製品を検索頂けます。
- 半導体（ウエハ）
- 酸とアルカリガスの反応によって発生するパーティクル･ヘイズ形成を防止。
- トーパント（III、V族）元素による、しきい電圧変動やp/n反転を防止。
- 有機物による膜厚、膜質の変動に伴うゲート酸化膜耐圧劣化を防止。
- 半導体（デバイス）
- アルカリガスによるレジストの変質・解像不良を防止。
- 酸性ガスによる金属配線の腐食を防止。
- 有機物による膜厚、膜質の変動に伴うゲート酸化膜耐圧劣化を防止。
- 液晶
- 酸とアルカリガスの反応によって発生するパーティクル・ヘイズ形成を防止。
- アルカリガスによるレジストの変質・解像不良を防止。
- ガラス基板への不純物付着を防止。
- プリント基板工場
- 製造環境へ外気からの酸性ガスを持ち込まない。
- 製造環境にて発生したヒュームやアルカリ性ガスを周囲へ放散させない。
- 食品工場、厨房
- 外部からの虫の進入を防止する。
- 作業者からの発じんを防止する。
- 製造時に発生したガスにて作業環境を悪化させない。（屋外へそのまま放出しない）
- 病院
- 病室間で換気を隔離する。
- オペルームの無菌化と発生ガスを外部へ放出しない。
- レントゲン室等のRI排気処理。
- 動物飼育舎
- 各種動物臭が混入しない。（アルカリ性ガス、メルカプタン等の硫黄系酸性ガス）
- 動物臭を屋外へ放出しない。
- 博物館、美術館、収蔵庫
- 古文書、文化財、美術品の長期保存
- 外部からの酸性ガスやじん埃の進入を防ぐ。
- 室内で発生した各種ガス汚染を除去する。
- 浮遊菌もあわせて空気質をトータル制御する。
- 一般脱臭
- 外部からの悪臭進入を防ぐ。
- 室内で発生した悪臭を除去する。（作業員への環境対策）
- 室内で発生した悪臭を外部へ放出しない。（地域住民への配慮）
