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クリーンルーム機器

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ファンフィルタユニット(薄型)

薄型ファンフィルタユニット

写真:ファンフィルタユニット(薄型)

形式
ファンフィルタユニット(薄型)の形式(PFT-CE)

CEマーキング対応のファンフィルタユニットです。適合指令は以下の通りです。

  • 機械指令(98/37/EC):機械的安全性
  • EMC指令(2004/108/EC):電磁両立性

高機外静圧のためケミカルフィルタの増設や狭い場所への設置が可能です。
風量調節機能や運転状態出力(パルス出力)を標準装備しており、各種装置組込みに最適です。

標準仕様 (一例)

モジュール 610×610
型式 PFT-CE-
0606S-15L
PFT-CE-
0606S-25L
PFT-CE-
0606S-35L
外形寸法 610mm 610mm
長さ 610mm 610mm
奥行 152mm 167mm
構成 筐体 SUS430
送風機 軸流ファン×1台
フィルタ 型式 TGML-10-E25Z TGMML-10-E41Z BFGL-10-E41Z
図番 #ML357
-610×610
#ML358
-610×610
#ML258
-610×610
グレード 低有機・低ボロン
HEPA
低有機・低ボロン
ULPA
ボロンフリー
超ULPA
捕集効率 99.99%以上(0.3μm、PSL) 99.9995%以上(0.1μm、PSL) 99.99995%以上(0.1μm、PSL)
仕様 FM準拠品、アルミラス網付
付属品 取付金具×4個
定格風量 10m3/min(可変)
機外静圧 120Pa 100Pa 150Pa
電源 DC24V
電流値 約6A
質量 約10Kg 約11Kg
備考
  • (1)本装置は装置搭載用であり、ホストマシンからの電源供給を前提にしてCEマーキングに対応しています。
    適合している指令は以下の通りです。
    • (a)機械指令(98/37/EC)
    • (b)EMC指令(2004/108/EC)
  • (2)本体側面の風量調整ツマミにより風量調整が可能です。
  • (3)送風機回転数に応じて2パルス/回転のパルス出力が可能です。
モジュール 610×1220
型式 PFT-CE-
0612S-15L
PFT-CE-
0612S-25L
PFT-CE-
0612S-35L
外形寸法 610mm 610mm
長さ 1220mm 1220mm
奥行 152mm 167mm
構成 筐体 SUS430
送風機 軸流ファン×2台
フィルタ 型式 TGML-20-E25Z TGMML-20-E41Z BFGL-20-E41Z
図番 #ML357
-610×1220
#ML358
-610×1220
#ML258
-610×1220
グレード 低有機・低ボロン
HEPA
低有機・低ボロン
ULPA
ボロンフリー
超ULPA
捕集効率 99.99%以上(0.3μm、PSL) 99.9995%以上(0.1μm、PSL) 99.99995%以上(0.1μm、PSL)
仕様 FM準拠品、アルミラス網付
付属品 取付金具×4個
定格風量 20m3/min(可変)
機外静圧 120Pa 100Pa 150Pa
電源 DC24V
電流値 約12A
質量 約17Kg

約18Kg

備考
  • (1)本装置は装置搭載用であり、ホストマシンからの電源供給を前提にしてCEマーキングに対応しています。
    適合している指令は以下の通りです。
    • (a)機械指令(98/37/EC)
    • (b)EMC指令(2004/108/EC)
  • (2)本体側面の風量調整ツマミにより風量調整が可能です。
  • (3)送風機回転数に応じて2パルス/回転のパルス出力が可能です。

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