低圧損形ULPA
標準形
アトモス・MCフィルタは、アトモスミクロフィルタより、圧力損失を25%低減したものです。クリーンベンチ、クリーンブース等の高清浄度を必要とする機器等に適しています。
標準仕様 （一例）
| 形式 | 寸法(mm) 縦×横×奥行 |
定格風量 (m3/min) |
圧力損失(Pa) | 捕集効率 (%) |
製品質量 (kg) |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
| 初期 | 最終 | |||||
| ATMMC-17-Q- | 610 × 610 × 150 | 17 | 186(216) | 490 | 99.9995 at0.1-0.15μm |
11 |
| ATMMC-21-Q- | 610 × 760 × 150 | 21 | 14 | |||
| ATMMC-26-Q- | 610 × 915 × 150 | 26 | 16 | |||
| ATMMC-27-Q- | 760 × 760 × 150 | 27 | 17 | |||
| ATMMC-34-Q- | 610 × 1220 × 150 | 34 | 21 | |||
| ATMMC-17-R- | 610 × 610 × 75 (注1) | 12 | 6 | |||
| ATMMC-21-R- | 610 × 760 × 75 (注1) | 15 | 7 | |||
| ATMMC-26-R- | 610 × 915 × 75 (注1) | 18 | 9 | |||
| ATMMC-27-R- | 760 × 760 × 75 (注1) | 19 | 9 | |||
注1）奥行75mmの紙セパレータ品は216Pa
上記以外の寸法も製作可能です。
性能
