ボロンフリー超ULPA
ボロンフリー
ミニプリーツ
半導体・液晶産業ではクリーンルームに用いられるガラス繊維ろ材フィルタからのボロン発生が問題になっています。この問題を解決するため、当社ではボロンフリーフィルタを開発しました。このフィルタは、ボロンの発生がなく、低圧損で高効率であることに加え、耐薬品性にも優れ、幅広い分野での使用が可能です。
標準仕様 （一例）
| 形式 | 寸法(mm) 縦×横×奥行 |
定格風速 (m/s) |
定格風量 (m3/min) |
圧力損失(Pa) | 捕集効率 (%) |
製品質量 (kg) |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 初期 | 最終 | ||||||
| BFGL-10-E38 | 610 × 610 × 98 | 0.5 | 10.0 | 83 | 294 | 99.99995 at0.1-0.2μm |
5.0 |
| BFGL-20-E38 | 610 × 1220 × 98 | 20.5 | 9.0 | ||||
| BFGL-10-E41 | 610 × 610 × 65 | 10.0 | 95 | 4.0 | |||
| BFGL-20-E41 | 610 × 1220 × 65 | 20.5 | 7.5 | ||||
| BFGL-7-E25 | 610 × 610 × 50 | 0.35 | 7.0 | 95 | 3.5 | ||
| BFGL-14-E25 | 610 × 1220 × 50 | 14.5 | 6.0 | ||||
上記以外の寸法も製作可能です。
性能
