標準形超ULPA
標準形
超ULPAを超える捕集効率を持つ当社の最高捕集効率品。0.1μm粒子において捕集効率99.99999%（7N）以上。
標準仕様 （一例）
| 形式 | 寸法(mm) 縦×横×奥行 |
定格風量 (m3/min) |
圧力損失(Pa) | 捕集効率 (%) |
製品質量 (kg) |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
| 初期 | 最終 | |||||
| MMD-17-E4 | 610 × 610 × 150 | 17 | 245 | 490 | 99.99999 at0.1-0.15μm |
11 |
| MMD-21-E4 | 610 × 760 × 150 | 21 | 14 | |||
| MMD-26-E4 | 610 × 915 × 150 | 26 | 16 | |||
| MMD-34-E4 | 610 × 1220 × 150 | 34 | 21 | |||
上記以外の寸法も製作可能です。
性能
