多風量形超ULPA
多風量
0.1μmの対象粒子を99.99995%（6N5）以上捕集する超ULPA。
標準仕様 （一例）
| 形式 | 寸法(mm) 縦×横×奥行 |
定格風量 (m3/min) |
圧力損失(Pa) | 捕集効率 (%) |
製品質量 (kg) |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
| 初期 | 最終 | |||||
| MMGC-17-E4 | 610 × 610 × 150 | 17 | 186 | 490 | 99.99995 at0.1-0.15μm |
11 |
| MMGC-21-E4 | 610 × 760 × 150 | 21 | 14 | |||
| MMGC-26-E4 | 610 × 915 × 150 | 26 | 16 | |||
| MMGC-34-E4 | 610 × 1220 × 150 | 34 | 21 | |||
上記以外の寸法も製作可能です。
性能
