低有機・低ボロン多風量HEPA
ヌーベル
多風量
低有機・低ボロンHEPAのセパレータ形多風量タイプの製品で、有機物、ボロンの発生が問題となる半導体、液晶用クリーンルームの外気処理系用に。有機物については発ガス量によって2グレードを取り揃えており、お客様の用途に合わせてお選びいただけます。
標準仕様 （一例）
| 形式 | 寸法(mm) 縦×横×奥行 |
定格風量 (m3/min) |
圧力損失(Pa) | 捕集効率 (%) |
製品質量 (kg) |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
| 初期 | 最終 | |||||
| TGMC-41-E42(CR) | 610 × 610 × 290 | 41.0 | 249 | 498 | 99.97 at0.3μm (シリカ粒子) |
14.5 |
| TGMC-51-E42(CR) | 610 × 760 × 290 | 51.0 | 17.5 | |||
| TGMC-50-E42T(CR) | 610 × 610 × 290 | 50.0 | 249±20 | 14.5 | ||
| TGMC-62-E42T(CR) | 610 × 760 × 290 | 62.0 | 17.5 | |||
| TGMC-56-E48T(CR) | 610 × 610 × 290 | 56.0 | 285 | 15.0 | ||
上記以外の寸法も製作可能です。
性能
