日本無機株式会社

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リーク試験

目的

クリーンルームの空気清浄度を満足させるために、装着フィルタに対して粉塵のリーク(漏洩)がないことを測定する。

測定機器

微粒子計数器

測定要領

リーク試験
  • フィルタ設置部及びろ材面をサンプリングプローブで走査し、リークの有無を確認する。
  • サンプリングプローブは被検出面より25~50mm程度の距離を速度約50mm/secで走査する。
  • 上流側測定値の吸引量は2.83L/min(0.1CF)、下流側測定器の吸引量は28.3L/min(1CF)とする。
  • 測定中、粒子が計測された場合、その位置で定点測定を行い連続カウントの有無を確認する。

※詳細の測定方法、判定基準等については、別途打ち合わせをお願いいたします。