ケミカル分析
クリーンルーム内の空気をサンプリングし、弊社に持ち帰り、ケミカル成分の分析を行い、汚染の有無を確認します。ケミカル成分の分析は大きく有機成分、金属成分、イオン成分の3種に分けられ、それぞれ分析の方法が異なります。
ご使用中のケミカルフィルタの残寿命を推定します。
使用中や使用後のHEPAフィルタや中性能フィルタからの発ガス成分を分析します。
（分析する内容は、有機、金属、イオン分析）
フィルタ製品（エアフィルタ等）、クリーンルーム機器（エアシャワー等）の製造メーカー
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クリーンルーム環境診断及びエアフィルタ調査
