目的
気流可視化装置により、クリーンルーム内の気流の方向を確認する。
測定機器
気流可視化装置（純水用タイプ、液体窒素用タイプ）
測定要領
- 気流可視化装置に純水、液体窒素を注入する。
- トレーサ発生ノズルを、気流方向を確認したい場所に置く。
- トレーサを発生させ、トレーサの流れる方向により気流を確認する。
測定要領
デジタルカメラまたはVTR記録
※詳細の測定方法、判定基準等については、別途打ち合わせをお願いいたします。
分類別一覧
クリーンルーム性能維持管理に必要な
環境診断評価をお手伝いします。
測定項目別一覧
各測定・分析・調査の対応分野は、
こちらをご覧ください。
