日本無機株式会社

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清浄度測定

目的

クリーンルーム内の清浄度レベルが設計値に適しているか否かを確認する。

測定機器

微粒子計数器

測定要領

クリーンルームを運転後、室内空気を微粒子計数器に導入し、浮遊微粒子の個数を測定する。

測定条件

(1)対象粒子径 打ち合わせによる
(2)測定点数 ISO14644-1に準拠
(3)測定高さ 床上1m
(4)サンプリング量 28.3L/min(1CF)
(5)測定回数 1ポイント3回測定

※詳細の測定方法、判定基準等については、別途打ち合わせをお願いいたします。