目的
クリーンルームの空気清浄度を満足させるために、装着フィルタに対して粉塵のリーク(漏洩)がないことを測定する。
測定機器
微粒子計数器
測定要領
- フィルタ設置部及びろ材面をサンプリングプローブで走査し、リークの有無を確認する。
- サンプリングプローブは被検出面より25~50mm程度の距離を速度約50mm/secで走査する。
- 上流側測定値の吸引量は2.83L/min(0.1CF)、下流側測定器の吸引量は28.3L/min(1CF)とする。
- 測定中、粒子が計測された場合、その位置で定点測定を行い連続カウントの有無を確認する。
※詳細の測定方法、判定基準等については、別途打ち合わせをお願いいたします。
分類別一覧
クリーンルーム性能維持管理に必要な
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測定項目別一覧
各測定・分析・調査の対応分野は、
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