使用済フィルタろ材に付着した粉塵の元素分析を行い、どのような元素を含んだ粉塵が付着しているか確認する。
電子線照射により発生する特性X線を検出し、元素固有のエネルギーを分光することで試料の元素分析や組成分析を行う。※詳細の測定方法、判定基準等については、別途打ち合わせをお願いいたします。
分類別一覧
クリーンルーム性能維持管理に必要な 環境診断評価をお手伝いします。
測定項目別一覧
各測定・分析・調査の対応分野は、こちらをご覧ください。