粒子径0.1μmの微粒子ダストを99.9995%捕集するULPAフィルタ(低圧力損失形)
| 形式 | ATMMC |
|---|---|
| タイプ | 低圧力損失形 |
ローボロンフィルタのULPAセパレータタイプ
| 形式 | BGMMC |
|---|---|
| タイプ | 多風量形 |
0.1μmの対象粒子を99.9999%以上捕集する超ULPA
| 形式 | MMZL |
|---|---|
| タイプ | 標準形 |
0.1μmの対象粒子を99.99995%(6N5)以上捕集する超ULPA(多風量タイプ)
| 形式 | MMGC |
|---|---|
| タイプ | 多風量形 |
有機繊維製の耐熱粗じんフィルタ
| 形式 | DSH-200 |
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有機繊維製の耐熱粗じんフィルタ(加熱処理済み)
| 形式 | DSH-200H |
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耐熱250℃タイプ中高性能フィルタ
| 形式 | ASTCH |
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耐熱180℃タイプの中高性能のフィルタ(常時使用温度150℃以下)
| 形式 | ASTE |
|---|---|
| タイプ | 標準形 |
多風量形の耐熱180℃タイプ中高性能フィルタ(常時使用温度150℃以下)
| 形式 | ASTCE |
|---|---|
| タイプ | 長寿命形 |
ガラス繊維ろ材を使用した耐熱温度450℃の粗じんフィルタ
| 形式 | CKR |
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0.5μmの粒子に対し、90%以上の粒子捕集率を持つ準HEPAフィルタ(常時使用温度350℃以下)
| 形式 | GCV |
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500℃まで使用に耐える超耐熱準HEPAフィルタ
| 形式 | GCW |
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常時150℃、最高使用温度180℃のHEPAフィルタ
| 形式 | ATME |
|---|---|
| タイプ | 標準形 |
常時150℃、最高使用温度180℃の多風量形HEPAフィルタ
| 形式 | ATMCE |
|---|---|
| タイプ | 多風量形 |
常時250℃のHEPAフィルタ
| 形式 | ATMH |
|---|---|
| タイプ | 標準形 |