「ULPA」の検索結果
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標準ULPAフィルタ アトモスATMMLフィルタ
0.1μmの対象粒子を粒子捕集率99.9995%（5N5）以上捕集するULPAフィルタ
形式 ATMML タイプ 標準形 -
低圧力損失ULPAフィルタ アトモスMMTLフィルタ
低圧力損失ULPAフィルタ
形式 MMTL タイプ 低圧力損失形 -
ボロンフリー超ULPAフィルタ BFGL
PTFEろ材を採用した超ULPAフィルタ
形式 BFGL タイプ ボロンフリー -
低ボロンULPAフィルタ ローボロンULPAフィルタ
低ボロンガラス繊維ろ材を使用したULPAフィルタ
形式 BGMML タイプ 多風量形 -
低有機・低ボロンULPAフィルタ ヌーベルULPAフィルタ
有機物とボロンの発生を抑えた低発ガスULPAフィルタ
形式 TGMML タイプ 多風量形 -
標準形ULPAフィルタ アトモスミクロフィルタ
粒子径0.1μmの微粒子ダストを99.9995%捕集するULPAフィルタ
形式 ATMM タイプ 標準形 -
低圧力損失ULPAフィルタ アトモスミクロコンパクトフィルタ
粒子径0.1μmの微粒子ダストを99.9995%捕集するULPAフィルタ（低圧力損失形）
形式 ATMMC タイプ 低圧力損失形 -
低ボロン低圧力損失ULPAフィルタ ローボロンフィルタULPA
ローボロンフィルタのULPAセパレータタイプ
形式 BGMMC タイプ 多風量形 -
超ULPAフィルタ アトモスMMZLフィルタ
0.1μmの対象粒子を99.9999%以上捕集する超ULPA
形式 MMZL タイプ 標準形 -
多風量形超ULPAフィルタ アトモス超ULPAコンパクトフィルタ
0.1μmの対象粒子を99.99995%（6N5）以上捕集する超ULPA（多風量タイプ）
形式 MMGC タイプ 多風量形
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