目的
空気中のイオン成分を超純水に捕集し、ICで分析し成分を特定する。
測定機器
インピンジャー、ミニポンプ、イオンクロマトグラフ
測定要領
- 測定点に吸収液を入れたインピンジャーを設置して、測定場所の空気を一定時間吸収液に捕集する。
- 吸収液をイオンクロマトグラフで分析し、イオン成分の液中濃度を測定する。
- 対象ガスの液中濃度に吸収液量を乗じ、サンプリングした採気量で除してイオン成分の気中濃度を算出する。
※詳細の測定方法、判定基準等については、別途打ち合わせをお願いいたします。
クリーンルームエアのケミカル汚染分析
クリーンルーム内空気をサンプリングしケミカル分析を行う。
ケミカル分析は大きく分けて3種類(有機濃度分析、金属成分分析、イオン成分分析)の分析方法で行う。
> 有機濃度分析
> 金属成分分析
分類別一覧
クリーンルーム性能維持管理に必要な
環境診断評価をお手伝いします。
測定項目別一覧
各測定・分析・調査の対応分野は、
こちらをご覧ください。