目的
空気中の有機ガスを吸着管に捕集し、GC-MSで分析し成分及び濃度を特定する。
測定機器
吸着管、ミニポンプ、GC-MS(ガスクロマトグラフ-質量分析計)、P&T(パージ&トラップ)
測定要領
- 測定点に吸着剤を充填した吸着管・サンプリング装置を設置し、測定場所の空気を一定時間吸着管に捕集する。
- 弊社分析センターに持ち帰り、吸着管をP&Tに設置し、高温で脱離させGC-MSで分析し、ライブラリーと照合することで成分を特定し、検量線からその量を求める。
- 算出した量をサンプリングした採気量で除して対象成分の気中濃度を算出する。
※詳細の測定方法、判定基準等については、別途打ち合わせをお願いいたします。
クリーンルームエアのケミカル汚染分析
クリーンルーム内空気をサンプリングしケミカル分析を行う。
ケミカル分析は大きく分けて3種類(有機濃度分析、金属成分分析、イオン成分分析)の分析方法で行う。
> 金属成分分析
> イオン成分分析
分類別一覧
クリーンルーム性能維持管理に必要な
環境診断評価をお手伝いします。
測定項目別一覧
各測定・分析・調査の対応分野は、
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