目的
空気中の金属成分を吸着液に捕集し、ICP-MSで分析し成分を特定する。
測定機器
インピンジャー、ミニポンプ、ICP-MS
測定要領
- 測定点に吸収液を入れたインピンジャーを設置し、測定場所の空気を一定時間吸収液に吸引捕集(バブリング)する。
- 吸収液をICP-MSで分析し、金属の液中濃度を測定する。
- 対象ガスの液中濃度に吸収液量を乗じ、サンプリングした採気量で除して対象金属の気中濃度を算出する。
※詳細の測定方法、判定基準等については、別途打ち合わせをお願いいたします。
クリーンルームエアのケミカル汚染分析
クリーンルーム内空気をサンプリングしケミカル分析を行う。
ケミカル分析は大きく分けて3種類(有機濃度分析、金属成分分析、イオン成分分析)の分析方法で行う。
> 有機濃度分析
> イオン成分分析
分類別一覧
クリーンルーム性能維持管理に必要な
環境診断評価をお手伝いします。
測定項目別一覧
各測定・分析・調査の対応分野は、
こちらをご覧ください。