日本無機株式会社

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金属成分分析

目的

空気中の金属成分を吸着液に捕集し、ICP-MSで分析し成分を特定する。

測定機器

インピンジャー、ミニポンプ、ICP-MS

測定要領

  • 測定点に吸収液を入れたインピンジャーを設置し、測定場所の空気を一定時間吸収液に吸引捕集(バブリング)する。
  • 吸収液をICP-MSで分析し、金属の液中濃度を測定する。
  • 対象ガスの液中濃度に吸収液量を乗じ、サンプリングした採気量で除して対象金属の気中濃度を算出する。

※詳細の測定方法、判定基準等については、別途打ち合わせをお願いいたします。

クリーンルームエアのケミカル汚染分析

クリーンルーム内空気をサンプリングしケミカル分析を行う。
ケミカル分析は大きく分けて3種類(有機濃度分析、金属成分分析、イオン成分分析)の分析方法で行う。

> 有機濃度分析
> イオン成分分析