ケミカル分析
クリーンルーム内の空気をサンプリングし、弊社に持ち帰り、ケミカル成分の分析を行い、汚染の有無を確認します。ケミカル成分の分析は大きく有機成分、金属成分、イオン成分の3種に分けられ、それぞれ分析の方法が異なります。
ご使用中のケミカルフィルタの残寿命を推定します。
使用中や使用後のHEPAフィルタや中高性能フィルタからの発ガス成分を分析します。
（分析する内容は、有機、金属、イオン分析）
試験項目一覧
| 有機濃度分析 | 空気中の有機ガスを吸着管に捕集し、GC-MSで分析し成分及び濃度を特定する。 |
|---|---|
| 金属成分分析 | 空気中の金属成分を超純水に捕集し、ICP-MSで分析し成分を特定する。 |
| イオン成分分析 | 空気中のイオン成分を超純水に捕集し、ICで分析し成分を特定する。 |
| ケミカルフィルタ 残寿命調査 |
クリーンルーム内の清浄度レベルが設計値に適しているか否かを確認する。 |
