ケミカル対策と除去
1. ケミカル対策
フィルタからの発ガス成分を極力おさえたフィルタを使用したクリーンルーム
有機ガス（TOC、シロキサン） 酸性ガス（ボロン）
2. ケミカル除去
(1) 外気処理用
外気に存在するケミカル成分、悪臭を外気導入口で除去
有機ガス（TOC、一般悪臭） 酸性ガス（SOx、NOx） アルカリ性ガス（アンモニア） 外気処理用
(2) 循環用
室内で発生したケミカル成分、悪臭を除去
有機ガス（TOC、一般悪臭） 酸性ガス（SOx、NOx） アルカリ性ガス（アンモニア）
(3) 排気用
室内で発生したケミカル成分、悪臭を排気時に除去
有機ガス（TOC、一般悪臭） 酸性ガス（SOx、NOx） アルカリ性ガス（アンモニア）
3. ケミカル対策＋ケミカル除去
外気及び室内循環に各々ケミカル除去
吹出口にはケミカル対策用フィルタを設置
