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新製品「高風量形耐熱350℃フィルタ(ATMKU)」

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「高風量形耐熱350℃フィルタ(ATMKU)」新発売

 

 

日本無機株式会社は、半導体や液晶製造ラインの加熱工程(アニール処理、フィルム乾燥等)で使用される「高風量形耐熱350℃フィルタ」を2018年4月より発売しました。

液晶パネルの大型化などにともない、クリーンオーブンなどの加熱処理装置の大容積化が進むなか、高風量形のHEPAフィルタをオーブンの循環系に搭載することで、短時間で装置内の温度の均一化とクリーン化を実現することができ、生産準備に係る時間を短縮、生産性向上に寄与できます。

既存加熱処理装置の改良、新規高風量型の加熱処理装置の設計にご検討ください。



【新製品の特長】

1.高風量処理が可能
フィルタ間口サイズ:610mm×610mmあたり、50㎥/minの高風量処理が可能です(従来当社品の4倍)。加熱処理装置内の換気回数を増やせるため、短時間で装置内の温度制御、クリーン化が可能です。
2.優れた耐久性
常時350℃、最高400℃(1時間)の環境下でご使用いただけます。
3.シリコーンフリー
シリコーン材を使用していないため、フィルタ起因のシロキサン汚染、製品特性への影響の心配がありません。

 

【用途】

  • 先端産業用クリーンオーブン・電子材料用オーブンなどの各種大型オーブン
  • アニール処理・ベーク処理・フィルム乾燥や延伸などの各種加工機、乾燥装置オフィスや大型商業施設の外気処理


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  高風量形耐熱350℃フィルタ



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