日本無機株式会社

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クリーンルーム測定

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クリーンルームを維持するための各種測定業務を行っています。

電子・半導体、精密機械などの製造工程では、空気中における浮遊微粒子が管理され、病院手術室、ICU等の細菌・カビからの感染防止、医薬品・化粧品などの製造工程・滅菌室では空気中における浮遊微生物が管理される空間をそれぞれインダストリアルクリーンルーム(ICR)、バイオロジカルクリーンルーム(BCR)と呼びます。
また、食品製造工程での細菌、異物、昆虫などの混入を防ぐクリーンルーム、さらに、有害物質を取扱う実験施設など、生物的ハザード防止のバイオハザードルームとあらゆる産業・施設の環境維持にクリーンルーム設備が伴います。 オフィスや生産クリーンルームの環境維持には、建築基準法「環境衛生管理基準」に従った維持管理が義務付けられています。

半導体工場、病院、医薬品工場など空調はじめクリーンルーム維持管理には測定・分析・検証業務は欠かせません。

空気調和の目的は、(1)酸素供給、(2)空気浄化、(3)温度・湿度調整に分類されます。

原因別には、(1)におい、(2)ガス種類、(3)ミスト・煙、(4)塵埃、(5)細菌の除去が快適環境維持となり、定期的な測定と不具合あれば調整が要求されます。

すべて工場測定による裏付けであり、内容や目的に応じて適切な提案をさせていただきます。

試験項目一覧

風速測定 吹出し風速(風量)が適正に維持されているかを測定する。
換気回数 平均吹出し風速とエアフィルタの有効間口寸法により時間当たりの風量を算出する。
あわせて換気回数と清浄度クラスを推定する。
リーク試験 クリーンルームの空気清浄度を満足させるために、装着フィルタに対して粉塵のリーク(漏洩)がないことを測定する。
清浄度測定 クリーンルーム内の清浄度レベルが設計値に適しているか否かを確認する。
騒音測定 クリーンルーム内の騒音を確認する。
照度測定 クリーンルーム内の照度を確認する。
気流測定 気流可視化装置により、クリーンルーム内の気流の方向を確認する。
有機濃度分析 空気中の有機ガスを吸着管に捕集し、GC-MSで分析し成分及び濃度を特定する。
金属成分分析 空気中の金属成分を超純水に捕集し、ICP-MSで分析し成分を特定する。
イオン成分分析 空気中のイオン成分を超純水に捕集し、ICで分析し成分を特定する。