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当社にてお手伝いできる技術

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スクロールで図全体をご覧いただけます。

項目 対象ガス サンプリング方法 分析機器
SO42-、NH4+ インピンジャ中の溶液にバブリング捕集 IC
高濃度(ppm)SO2、NO2 気体採取器により直接捕集 検知管
アルカリ NH4+、アミン等 インピンジャ中の溶液にバブリング捕集 IC
高濃度(ppm)NH3 気体採取器により直接捕集 検知管
有機 総有機物量(TOC)
シロキサン、DBP等
吸着剤を充填した管に吸引捕集 GC-MS
金属 B、P等 インピンジャ中の溶液にバブリング ICP-MS

 

当社保有分析機器

イオンクロマトグラフ(IC)

 

  • 液中の酸、アルカリ、有機酸濃度の測定(SO、NH4+、CH3COO-等)
  • 気中の酸、アルカリ、有機酸濃度の測定
  • フィルタの酸、アルカリ、有機酸除去効率の測定
  • 部材からの酸、アルカリ、有機酸溶出量の測定

 

ガスクロマトグラフ質量分析計(TD-GC-MS)

 

  • 気中の有機物濃度の測定(シロキサン、DBP、DOP等)
  • フィルタの有機物除去効率の測定
  • フィルタ及び部材からの有機物発生量の測定

 

誘導結合プラズマ質量分析計(ICP-MS)

 

  • 液中の金属成分濃度の測定(B、P、Ca、Cu、AI等)
  • 気中の金属成分濃度の測定
  • フィルタの金属成分除去効率の測定
  • フィルタからの金属成分発生量の測定

 

シリコンウエハアナライザーガスクロマトグラフ質量分析計(WTD-GC-MS)

 

  • ウエハ表面に付着した有機物量の測
  • 気中の有機物濃度とウエハ汚染量の関係把握
  • フィルタからの有機物発生量の測定

 

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