当社にてお手伝いできる技術
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| 項目 | 対象ガス | サンプリング方法 | 分析機器 |
|---|---|---|---|
| 酸 | SO42-、NH4+等 | インピンジャ中の溶液にバブリング捕集 | IC |
| 高濃度(ppm)SO2、NO2等 | 気体採取器により直接捕集 | 検知管 | |
| アルカリ | NH4+、アミン等 | インピンジャ中の溶液にバブリング捕集 | IC |
| 高濃度(ppm)NH3等 | 気体採取器により直接捕集 | 検知管 | |
| 有機 | 総有機物量(TOC) シロキサン、DBP等 |
吸着剤を充填した管に吸引捕集 | GC-MS |
| 金属 | B、P等 | インピンジャ中の溶液にバブリング | ICP-MS |
当社保有分析機器
イオンクロマトグラフ（IC）
- 液中の酸、アルカリ、有機酸濃度の測定（SO、NH4+、CH3COO-等）
- 気中の酸、アルカリ、有機酸濃度の測定
- フィルタの酸、アルカリ、有機酸除去効率の測定
- 部材からの酸、アルカリ、有機酸溶出量の測定
ガスクロマトグラフ質量分析計（TD-GC-MS）
- 気中の有機物濃度の測定（シロキサン、DBP、DOP等）
- フィルタの有機物除去効率の測定
- フィルタ及び部材からの有機物発生量の測定
誘導結合プラズマ質量分析計（ICP-MS）
- 液中の金属成分濃度の測定（B、P、Ca、Cu、AI等）
- 気中の金属成分濃度の測定
- フィルタの金属成分除去効率の測定
- フィルタからの金属成分発生量の測定
シリコンウエハアナライザーガスクロマトグラフ質量分析計（WTD-GC-MS）
- ウエハ表面に付着した有機物量の測
- 気中の有機物濃度とウエハ汚染量の関係把握
- フィルタからの有機物発生量の測定
